Guida alla selezione della pompa per vuoto ---
Quando si sceglie una pompa per vuoto, è necessario prestare attenzione ai seguenti aspetti:
1. La pressione di esercizio della pompa per vuoto deve soddisfare i requisiti finali di vuoto e pressione di esercizio dell'attrezzatura per il vuoto. Ad esempio: il rivestimento sotto vuoto richiede un grado di vuoto di 110-5 mmHg e il grado di vuoto della pompa a vuoto selezionata deve essere almeno di 510-6 mmHg. Di solito il grado di vuoto della pompa viene selezionato in modo che sia da metà a un ordine di grandezza superiore rispetto al grado di vuoto dell'attrezzatura per il vuoto.
2. Selezionare correttamente il punto di lavoro della pompa per vuoto. Ogni tipo di pompa ha un determinato intervallo di pressione di esercizio, ad esempio 10-3~10-7mmHg per una pompa a diffusione. All'interno di un intervallo di pressione così ampio, la velocità di pompaggio della pompa cambia con la pressione e il suo intervallo di pressione di esercizio stabile è 510-4 ~510-6mmHg. Pertanto, il punto di lavoro della pompa deve essere selezionato all'interno di questo intervallo e non può funzionare a lungo sotto i 10-8mmHg. Un altro esempio è che la pompa di sublimazione del titanio può funzionare a 10-2mmHg, ma la sua pressione di esercizio dovrebbe essere inferiore a 110-5mmHg.
3. La pompa per vuoto deve essere in grado di scaricare tutto il gas generato durante il processo dell'apparecchiatura per vuoto alla sua pressione di esercizio. 4. Combinare correttamente la pompa del vuoto. Poiché le pompe per vuoto hanno capacità di pompaggio selettive, a volte un tipo di pompa non può soddisfare i requisiti di pompaggio e diverse pompe devono essere combinate per completarsi a vicenda per soddisfare i requisiti di pompaggio. Ad esempio, una pompa di sublimazione del titanio ha un'elevata velocità di pompaggio per l'idrogeno ma non può pompare l'elio, mentre una pompa ionica sputtering tripolo (o una pompa ionica sputtering catodico asimmetrica a diodo) ha una certa velocità di pompaggio per l'argon. In combinazione il dispositivo del vuoto otterrà un grado di vuoto migliore. Inoltre, alcune pompe per vuoto non possono funzionare a pressione atmosferica e necessitano di prevuoto; alcune pompe per vuoto hanno pressioni di uscita inferiori alla pressione atmosferica e richiedono una pompa di supporto, quindi le pompe devono essere combinate.
5. Requisiti per l'inquinamento da idrocarburi nelle apparecchiature per vuoto. Se l'apparecchiatura richiede rigorosamente l'assenza di olio, è necessario selezionare varie pompe senza olio, come: pompe ad anello d'acqua, pompe di adsorbimento a setaccio molecolare, pompe ioniche a polverizzazione catodica, pompe criogeniche, ecc. Se i requisiti non sono rigidi, è possibile scegliere di disporre di una pompa dell'olio e aggiungere alcune misure anti-inquinamento da olio, come l'aggiunta di trappole fredde, deflettori, trappole dell'olio, ecc., per ottenere requisiti di vuoto pulito.
6. Comprendere la composizione del gas pompato, se contiene vapore condensabile, se è presente polvere particellare, se è corrosivo, ecc. Quando si seleziona una pompa per vuoto, è necessario conoscere la composizione del gas e selezionare la pompa corrispondente per il gas essere pompato. Se il gas contiene vapori, particelle e gas corrosivi, è opportuno prendere in considerazione l'installazione di apparecchiature ausiliarie, quali condensatori, collettori di polveri, ecc., sulla tubazione di ingresso dell'aria della pompa.
7. Qual è l'impatto dei vapori d'olio scaricati dalla pompa per vuoto sull'ambiente? Se l'ambiente non consente l'inquinamento, è possibile scegliere una pompa per vuoto oil-free oppure scaricare i vapori d'olio all'aperto.
8. Le vibrazioni generate dalla pompa per vuoto durante il funzionamento hanno qualche impatto sul processo e sull'ambiente? Se il processo non lo consente, è necessario selezionare una pompa priva di vibrazioni o adottare misure antivibranti.
9. Il prezzo, i costi di funzionamento e di manutenzione delle pompe per vuoto.